VOC廢氣的處理方法有:噴霧+等離子體、噴霧+UV光解、噴霧+光解等離子體、微生物法、RCO燃燒法、濃度回收法。在實際工程應用中，可考慮對氣體體積小、濃度低的場所采用微生物法。一般在支持其他處理工藝前先進行噴淋預處理。